CS330質量流量控制器是七星華創流量計新研發的數字型產品▩•◕·▩，*高流量可達200SLM氮氣▩•◕·▩，並可實現數字/模擬控制模式；產品採用了新型全金屬密封結構形式◕↟•、大流量◕↟•、低壓損電磁調節閥◕↟•、以及先進的人工智慧機器人金屬表面拋光技術▩•◕·▩，可用於測量各種氣體的流量▩•◕·▩，包括惰性氣體◕↟•、強腐蝕性氣體◕↟•、易燃易爆等危險性氣體·╃。產品具備精度高◕↟•、響應速度快◕↟•、低零漂◕↟•、低溫漂效能等優點▩•◕·▩，並支援DeviceNet▩•◕·▩，RS485通訊協議·╃。
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CS330產品是七星華創流量計新研發的數字型產品▩•◕·▩，*高流量可達200SLM氮氣▩•◕·▩，並可實現數字/模擬控制模式；產品採用了新型全金屬密封結構形式◕↟•、大流量◕↟•、低壓損電磁調節閥◕↟•、以及先進的人工智慧機器人金屬表面拋光技術▩•◕·▩，可用於測量各種氣體的流量▩•◕·▩，包括惰性氣體◕↟•、強腐蝕性氣體◕↟•、易燃易爆等危險性氣體·╃。產品具備精度高◕↟•、響應速度快◕↟•、低零漂◕↟•、低溫漂效能等優點▩•◕·▩，並支援DeviceNet▩•◕·▩，RS485通訊協議·╃。
優勢
• 新型的金屬密封結構形式·╃。該密封結構形式具有密封可靠◕↟•、裝配工藝簡單◕↟•、耐腐蝕等優勢▩•◕·▩，廣泛適用於各類氣體流量的測量·╃。• 體積小◕↟•、零漂小◕↟•、抗干擾能力強的感測器·╃。該感測器採用上◕↟•、下游對稱性結構設計▩•◕·▩，從而保證了感測器的零漂小;感測器內部設有保溫棉▩•◕·▩，極大程度降低了環境溫度對感測器的影響▩•◕·▩，從而提高了感測器的抗干擾能力▩•◕·▩，確保了氣體流量檢測的精度·╃。• 先進的人工智慧機器人表面拋光技術·╃。CS330系列產品金屬表面粗糙度可達0.1RA▩•◕·▩，嚴格按照SEMI標準生產製造·╃。• CS330系列產品支援±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支援數字▩•◕·▩，模擬輸入輸出·╃。• CS330系列產品支援多種電氣介面▩•◕·▩，包括DB9◕↟•、DB15◕↟•、DeviceNet(側部◕↟•、頂部);支援RS485▩•◕·▩，DeviceNet通訊方式·╃。
CS330質量流量控制器技術引數
CS330C◕↟•、D
型號
閥型別
常閉
無
流量規格(N2)
(100,200) SLM
準確度
±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
線性
±0.5% F.S.
重複精度
±0.2% F.S.
響應時間
≤ 1 sec
工作壓差範圍
100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM）200 ~ 300 KPa （100＜F≤200SLM）
溫度係數
零點: ≤±0.02% F.S./℃；調節時│▩✘：≤±0.1% F.S./℃
大工作壓差
1 MPa
耐壓
3 MPa (435pisg)
漏率
5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He）
密封材料
金屬
工作環境溫度
（0～50）℃
輸入訊號
數字: RS485或 DeviceNetTM模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
輸出訊號
數字:RS485或 DeviceNetTM模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極)
表面化學成分
常態
標準接頭形式
VCR 1/2´´
電源接頭形式
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭
重量
2.6 Kg
1.5 Kg
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