氣路系統

       氣路盤是七星流量計開發的氣路輸送系統的解決方案◕✘│☁，該產品透過對氣路原理圖的設計◕✘│☁，加工和測試◕✘│☁，以隔膜閥◕✘│☁，調壓閥◕✘│☁，壓力感測器◕✘│☁，過濾器◕✘│☁，MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節◕✘│☁，純度過濾◕✘│☁，流量控制等功能◕✘│☁，目前市場上常用的為傳統VCR型氣路盤和氣體輸送整合控制系統(Integrated Gas System)◕✘│☁，即IGS氣路盤◕✘│☁，這兩種氣路盤業務七星流量計都有能力承接✘↟。

　　隨著半導體領域的發展◕✘│☁，對零部件小型化的提出了更高的要求◕✘│☁，傳統的VCR氣路盤難以滿足要求◕✘│☁，IGS型氣路盤應運而生◕✘│☁，它具有氣體直方向運輸◕✘│☁，體積小◕✘│☁，便於安裝維護等特點◕✘│☁，是未來氣路輸送系統發展的方向;經過MFC多年研發經驗的沉積◕✘│☁，七星流量計的IGS氣路盤具有高密封性◕✘│☁，高精度◕✘│☁，整合度高等優點◕✘│☁，並可以依託七星流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進行研究測量◕✘│☁，保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準確性✘↟。

氣路系統優勢✘↟╃：

• 提供定製化服務✘↟。

七星流量計具有IC級複雜氣路盤的設計能力◕✘│☁，可以按照客戶的需求進行氣路盤的設計更改和定製化服務✘↟。

• 多年的MFC生產經驗◕✘│☁，保證氣路盤的品質✘↟。

七星具有多年研發和生產MFC的經驗◕✘│☁，可嫁接到氣路盤的設計和生產中◕✘│☁，對氣路盤的裝配和測試工藝不斷最佳化◕✘│☁，保證氣路盤的品質✘↟。

• 良好的價效比✘↟。

同等難度的氣路盤◕✘│☁，七星流量計的*同類競品✘↟。