氣路系統 氣路盤是七星流量計開發的氣路輸送系統的解決方案│↟│☁,該產品透過對氣路原理圖的設計│↟│☁,加工和測試│↟│☁,以隔膜閥│↟│☁,調壓閥│↟│☁,壓力感測器│↟│☁,過濾器│↟│☁,MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節│↟│☁,純度過濾│↟│☁,流量控制等功能│↟│☁,目前市場上常用的為傳統VCR型氣路盤和氣體輸送整合控制系統(Integrated Gas System)│↟│☁,即IGS氣路盤│↟│☁,這兩種氣路盤業務七星流量計都有能力承接·✘│╃。