CS330質量流量控制器是七星華創流量計新研發的數字型產品✘₪·,*高流量可達200SLM氮氣✘₪·,並可實現數字/模擬控制模式;產品採用了新型全金屬密封結構形式│▩▩☁、大流量│▩▩☁、低壓損電磁調節閥│▩▩☁、以及先進的人工智慧機器人金屬表面拋光技術✘₪·,可用於測量各種氣體的流量✘₪·,包括惰性氣體│▩▩☁、強腐蝕性氣體│▩▩☁、易燃易爆等危險性氣體₪₪•。產品具備精度高│▩▩☁、響應速度快│▩▩☁、低零漂│▩▩☁、低溫漂效能等優點✘₪·,並支援DeviceNet✘₪·,RS485通訊協議₪₪•。
CS200H質量流量控制器是七星流量計生產的數字型高溫產品✘₪·,其電氣和機械部分採用分體式的設計✘₪·,透過高溫線纜連線✘₪·,可以實現在高溫環境下工作✘₪·,能夠滿足複雜多變的半導體測量需求₪₪•。
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模積體電路裝備設計的產品✘₪·,該產品在原有CS200氣體質量流上✘₪·,採用了基於DF的壓力訊號補小償演算法✘₪·,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝✘₪·,產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準✘₪·,支援Ⅵ型✘₪·,C型GS氣路系統₪₪•。
DS300質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用於半導體裝備的氣體質量流量控制器✘₪·,用於半導體器件的刻蝕│▩▩☁、濺射等工藝₪₪•。
CS100數字氣體質量流量控制器是基於七星流量計CS系列產品技術平臺開發✘₪·,在擁有恆功率感測器技術✘₪·,數字感測器平衡技術✘₪·,VCP線控制技術的基礎上✘₪·,採用客戶定製化設計✘₪·,客戶可根據需要選用符合自身需求的產品✘₪·,同時其*創的客戶零點補唯功能(CGC)✘₪·,能夠解決由於客戶地線連線導致的MFC精度不准問題✘₪·,使產品更好的適應客戶環境₪₪•。
D07-23FM質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制✘₪·,除測量外還可以精密控制氣體的質量流量✘₪·,質量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質量流量₪₪•。D07-23F產品是七星流量計研發精度高│▩▩☁、響應時間快的模擬產品₪₪•。